经典实验-薄膜/极片-铜薄膜镀膜基片做蒸镀铝实验
发布时间：2020-07-16
j9九游会实验室对GSL-1700X-SPC-2设备做了一系列实验研究：
设备连接和基片安装：
坩埚配件安装：
实验：铜薄膜镀膜基片做蒸镀铝实验
结论：1250℃、30min蒸镀条件下铜箔表面表现银白色，且厚度增加了2μm。
蒸镀材料 | 抽真空时间 | 真空度torr | 200℃电流 | 蒸镀时电流 | 蒸镀温度 | 蒸镀时间 | 现象 |
铝 | 1h | 9.51X10-5 | 约10mA | 约18mA | 1050℃ | 300s | 起初表面暗淡后边面泛白 |
铝 | 1.5h | 6.51X10-5 | 约10mA | 约18mA | 1070℃ | 600s | 表面金属白 |
铝 | 1.5h | 3.71X10-5 | 约10mA | 约18mA | 1150℃ | 300s | 银白 |
铝 | 1.5h | 3.71X10-5 | 约10mA | 约20mA | 1230℃ | 300s | 表面暗淡 |
铝 | 1.5h | 3.71X10-5 | 约10mA | 约20mA | 1300℃ | 300s | 表面发暗 |
实验结束后利用千分尺测量厚度，确定铝箔厚度，结果如下：
形貌 | 厚度 | 厚度值 | |
蒸镀前 |
|
| 0.011mm |
蒸镀后 |
|
| 0.013mm |
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