Idea-铂薄膜制备工艺探索

发布时间:2021-03-10

第一组

实验思路:实验采用常规程序控温方法尝试,并采用大功率分子泵,尽量降低腔室内的真空度,以降低实验本底空度

结果分析:高真空情况下热电偶丝的蒸气压也随即发生变化,1500度左右热电偶丝发生融化迹象,即导致温度不准

28.jpg

已知腔体内部真空气压约为5*10^-3Pa,1Pa=7.50064*10^-3 mmHg,使用公式(2)

T = 2078.60482

若温度为1425,则P=1.1165*10^-8Pa

若温度为1765,则P=3.235*10^-5Pa

结果分析:1.根据资料,铂在1425度时,蒸气压为10-8 Pa,所以现有的真空度还是不够。

   2. 是否可以采用磁控溅射的方法,这个市场部做过多次,工艺成熟。

第十一组:

实验思路:使用直流溅射代替蒸镀镀膜。

https://zhidao.baidu.com/question/383047107.html

2.https://tech.hqew.com/fangan_1741326《金属薄膜材料铂pt》

3.https://max.book118.com/html/2019/0908/8035044015002047.shtm

《薄膜的制备 蒸镀》

4.https://wenku.baidu.com/view/006e9ff4f80f76c66137ee06eff9aef8941e4893.html《镀膜材料对场发射扫描电镜图像的影响》

5.https://baike.baidu.com/item/%E6%B0%AE%E5%8C%96%E7%A1%BC/4684038?fr=aladdin


特别声明:

1. 以上所有实验仅为初步探究,仅供参考。由于我们水平有限,错误疏漏之处欢迎指出,我们非常期待您的建议。

2. 欢迎您提出其他实验思路,我们来验证。

3. 以上实验案例及数据只针对j9九游会设备,不具有普遍性。

4. 因为涉及保密问题,以上数据仅为部分数据,欢迎老师与我们联系,我们非常期待和您共同探讨设备的应用技术。


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