名称 | 惰性气体净化系统-GPH-DHDO |
产品特点 | ·输入:输入气体纯度要求:<1000 ppm(99.9%)
·输出:清除杂质至<0.1 ppm(O2≤0.1 ppm H2O,-76℃露点温度)(请点击此处转换湿度单位)
·304L不锈钢罐(<10 Ra EP)
·再生操作简单方便
·内置数字温度控制器和气体流量计控制
·再生后可净化多达80L惰性气体
·设备需在270℃下再生(需使用5N纯度的95%N2 + 5%H2气体) |
电源 | ·220v 50Hz
·功率:500W(加热过程中) |
最大压力输出 | 0.5MPa |
工作温度 | 室温-300℃ |
气体泄漏率 | <2 x 10-9 atm cc/sec He |
温度控制器 | 控温精度±1 ºC |
最大气流 | 400mL/min |
质保期 | 一年保修,终身技术支持。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 |
使用提示 | ·您可以选购精密质子流量计,输入气体更加准确(图一)
·此系统可以和本公司所有的管式炉和CVD系统相连接(图二)
图一 图二 |
外形尺寸 | 445mm L X 400mm W X 190mm H |
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