腔体 | l 采用304不锈钢腔体,带有水冷夹层,可通入冷却水
l 腔体上安装有石英窗口,以便观察样品
l 腔体真空度:10-5Torr(采用分子泵)
l 腔体尺寸:Φ257*360mm |
真空计 | 腔体上安装有数显防腐真空计和机械压力表 |
电弧枪 | l 共有4个电弧枪,可让样品得到均匀的温场(电弧枪都带有冷却水)
l 钨电极直径为Φ4mm
l 电弧腔体对样品的角度和距离可手动调节
l 起弧电源: 18 V / 185 A 电压380V
l 熔炼温度可达3000℃ |
样品台 | l 采用水冷铜坩埚
l 可投如样品量为60g(按铁计算) |
提拉机构 | l 控制器控制提拉机构的提拉速度,转速和转速
l 提拉速度:0.2-10mm/h
l 提拉行程:0-70mm
l 转速:0-40RPM |
控制单元 | 可显示和设置单晶生长的参数(起弧电流,提拉杆转速,提拉行程和转速) |
真空泵 | l 设备中配有一分子泵系统(机械泵+涡旋分子泵)
l 抽气速率:100L/S
l 可使设备腔体的真空度达到10-5Torr(40分钟内) |
循环水冷机 | l 功率:800W
l 水流速度:58L/min
l 制冷能力:5004W(17500Btu/hour)
l 温度控制:5~30 °C |
设备尺寸 | 800mm(L)*800mm(W)*1500mm(H) |
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