1700℃ TSSG法晶体生长炉
关键字:
TSSG法
型号:
VBF-1700X-TSSG
产品概述:
VBF-1700X-TSSG是一款顶部籽晶法晶体生长炉,可利用助溶剂法生长各种材料单晶。箱式炉采用氧化铝材料,以MoSi2为加热元件,其腔体尺寸为φ240mm×300mm(H),最高温度可达1700℃。24段可编程控制器,可根据不同的客户需求来设定升降温程序,控温精度可达±0.1℃,配备精密旋转提拉机构可用于生长各种晶体材料,提拉速度和旋转速度均可根据客户需求进行定制。
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
规格型号

VBF-1700X-TSSG

产品特点

图片10.png·高纯氧化铝纤维作为炉膛材料,表面涂有氧化铝涂层,确保炉膛洁净性,不掉渣

·双层壳体结构,并带有风冷系统,可保证壳体表面温度较低。

·谐波减速器+私服电机保证提拉精度

·采用欧陆仪表精密温控系统,控温精度可达+/- 0.1ºC



加热炉基本参数

·电源:单相208-240VAC,50/60Hz

·功率:最大13KW·长期工作温度:1600℃

·控温热电偶:B型双铂铑热电偶

·炉膛尺寸:φ240mm×300mm(H)

·升温速率:1400℃以下≤10℃/min ;1400℃到1600℃≤5℃/min

图片12.png  图片11.png

温控系统

· 包含一款EPC3000系列欧陆温度控制器

· PID自动控温系统

· 智能化24段可编程控制

· 默认DB9 PC通讯连接端口

· 控温精度:±0.1℃13.png

所有的电气元件都通过UL或MET认可,并可通过世界范围内的其他相关安全测试


提拉机构

图片18.png· 提拉杆:直径10mm氧化铝杆(可根据客户要求定制

· 提拉速度0.03-30mm/h(可调)

· 最大提拉行程:250mm

· 籽晶杆旋转速度:0-30r/min

· 带有手动操作可快速升降

设备中不包含坩埚需要客户自己提供


控制系统

· 采用触摸屏+PLC方式

· 温控曲线通过触摸设置(升温,恒温,降温)

· 通过触摸屏设置提拉速度,籽晶杆旋转速度

· 实时显示提拉位置

图片19.png  图片20.png



外型尺寸

炉体长款高:600*400*1340mm

控制箱长宽高:1230*820*2000mm

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图片22.png


 










   使用注意事项

· 我们不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体,如果客户工艺原因确实需要使用易燃易爆和有毒气体,请客户自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体而造成的相关问题,本公司概不负责。

· 设备需在独立供电网下工作,电网电压范围要求在±8%内,不可与中频高频等高磁场发生设备共用供电网,远离中频设备,防止空间电磁辐射。

·如果同一供电回路存在中、高频设备,或者大型感性负载,应在供电回路加入适当的电抗柜滤波,配置电容柜自动补偿,谐波检测和治理,对设备进行电磁隔离处理,否则可能导致加热炉工作不稳定甚至损坏!此类问题导致加热炉故障或损坏不属于保修范围。

·设备请远离存在液体飞溅场所

·设备请远离存在导磁导电粉末

·保温和加热元件为损耗件,保温材料在烧结过程中出现裂纹为正常现象,可使用修补剂修补,加热元件为损耗件,在电炉长时间使用后无法达到工作温度和升温明显缓慢后联系厂家判断是否要进行更换,

·该设备高精度温控范围为300-1600℃,低温运行会存在温度振荡



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