| 工作电压&功率 | AC220V 单相 50/60Hz 100W |
| PLC触摸屏 |
l 通过6″PLC触摸屏对ALD蒸汽脉冲时间、气体流量等参数进行设定控制
l 可控制2个ALD阀门的脉冲时间以及循环次数（毫秒级）
l 可控制4通道的气体流量（4通道质子流量计，精度±0.2%F.S）
l 真空压力显示
l 请点击左图查看控制界面
l RS485 通讯接口和PC软件可以连接到电脑上，进行远程控制 |
| ALD进气阀 | l 对于两种前驱体气体的沉积，需2个ALD进气阀进行控制（不包含在设备中）
l 客户可使用自己已有的ALD阀或点击下图选购本公司ALD阀
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| 流量控制 |
l 四通道质子流量计控制系统可用于4路气体的通入和混合 流量范围: 一路: 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~199 SCCM 四路: 1~499 SCCM
l 注意：其他流量范围的可定制，需额外费用
l 工作温度：5~45ºC 耐压:3MPa
l 精度: ±1.5% FS 线性: ±1%F.S.重复精度: ±0.2%F.S. |
| 通气管道 | l 内置不锈钢混气罐
l 内部连接管道为1/4”不锈钢管
l 外部通气管道为1/4”聚四氟管 |
| 混气罐 | Φ80X120mm |
| 截止阀及配件 | 316不锈钢针阀 Φ1/4” 不锈钢管 |
| 尺寸 | 600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H) |
| 质保期 | 一年保质期，终生维护 |
| 可选配件 | l 可选购气液混合装置用于蒸汽的通入，点击下图查看详情
l 客户可另外付费由本公司对ALD控制单元以及管式炉系统进行连接组装。
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