| 等离子源 | · 等离子体射频电源：110V 或220VAC, 50/60 Hz, < 100W · 输出频率： 13.56 MHz · 三档射频功率大小： 7.2W. 10.5W 和 18W （可调节） · 腔体尺寸：3"OD x 2.7"ID x 16" L 仪器中带有一套不锈钢密封法兰使得腔体内部的真空度为10^-2 torr（用机械泵） |
| 视频 |
操作视频 |
| 滑动法兰 | · 有一滑轨法兰安装于移动架上，以便于样品的放入和取出。 样品可以放入加热线圈内，以达到更好的加热效率和温度的均匀性。 |
| 加热圈和温控系统 | · 加热圈尺寸：50mm OD x 40mm ID x 70mm，可使样品达到的温度为400℃ · 加热圈上套有一2" ID x 75mm L的石英罩，以减小热量损失 · 温控方面:采用PID方式调节温度，同时可设置30段升降温程序，控温精度为： +/-1ºC 输入电源： AC 220V
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| 两通道混气系统 | · 混气箱上安装有两个浮子流量计，其量程为10-100SCCM · 三个机械压力表：-0.1-0.15 MPa, · 混气箱上安装有304不锈钢针阀 · 配有三根1/4"的聚四氟乙烯管 · 混气箱尺寸: 340Lx300Dx 180H, mm ( 13.4"x12"x7"). 净重: 14 lbs. |
| 真空和气体接口 | 标准的真空配置有 · 一套3"的不锈钢法兰（上面安装有KF-25的真空泵接口，一个1/4"卡套接头和不锈钢针阀） · 一个数字式真空显示计 · 等离子腔体中可以通入多种惰性性气体，如N2, Ar, Air ，以及各种混合性气体。 · 可以调整腔体内的压力或是进气流量，确保等离子体达到样品处 （注意：不可通入易燃易爆性气体） |
| 真空泵 | · 仪器中配有一双旋机械真空泵，其抽气速率为120L/min, 进气口为KF25接口，可以使腔体内真空度小于30mTorr |
| 移动架 | 设备中配有一 600L x 600W x 600H（mm)的移动架，整个CVD系统可以安置于其上面 |
| 仪器尺寸 | · 等离子源： 8.5" H x 10" W x 8" D · 温控盒： 4"H x 10"W x 8"D 移动架：600 x 600 x 600mm |
| 重量 | 70 lb (包含真空泵) |
| 质保期 | 一年质保期（不包含石英管和密封圈） |
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