| 双重石英管结构 | · 高纯石英管 · 279 O.D x 269 I.D x 1300mm Length (11" O.D x 10.6" I.D x 48" L),两端打开，可以连接法兰 · 内管尺寸 : 216 OD x 206 IDx 750 mm Length (8.5"OD x 8.1"ID x30"L),一端封闭另一端连接到气体入口和出口. 请点击下图可查看炉管及法兰安装
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| 壳体结构 | · 采用双层壳体结构，并带有风冷 · 保温材料采用高纯氧化铝纤维，环保节能，可以最大程度的减少热量的损失. · 加热元件: NiCrAl电阻丝 · 仪器中包含两个石英管塞，设备在加热前必须放入炉管内，防止热量以热辐射的形式散失 · 如果使用内管进行薄膜的生长，那么最大可在8英寸的基片上
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| 加热区 | · 总加热区长度： 900 mm (36") 三个温区: 300 mm + 300 mm + 300mm (12" per zone) |
| 工作温度 | · 最高工作温度 1100°C ( < 1 hour ) · 正常工作温度: 200~1000°C · 最大升温速率& 降温速率: 10°C/min 温度均匀性（请点击查看）
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| 温控系统 | · 三个精密温度控制器，采用PID方式控温，并可设置50段升降温程序，每个温区可以进行独立控温 · 控温仪表操作视频 · 热电偶: 三根 K型omega原装热电偶，每个温区各一根 · 控温精度: +/- 1°C · SRC (Silicon Controlled Rectifier) power control 可选：PC控温软件，将温度曲线和程序导入到电脑中（另购）
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| 真空密封法兰 | · 仪器中包含有一对不锈钢真空密封法兰，采用硅胶密封圈密封 · 真空度可以达到10^-2 torr（用机械泵） · 左侧法兰：包括 化学汽相淀积进气口和冷却气体in&out端口 右侧法兰: KF40真空接口和， KF40真空阀门直接于KF-40波纹管和真空泵相连接，（如想泵和KF-25接口相连接，需要另购一个KF-40转KF-25接头）
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| 电压 | · 单相 220V AC, 50/60 Hz 包含电源线插头AWG 8# |
| 最大功率 | 12KW (需50A空气开关) |
| 外形尺寸 | · 1300 L x 623 W x 940 H mm (51" L x 24.5" W x 37" H) (不包含真空法兰） · 1670 L x 623 W x 940 H mm (66" L x 24.5" W x 37" H) (包含真空密封法兰) |
| 净重 | 200kg |
| 运输尺寸 | 70" x 70" x 65" |
| 运输重量 | 500Lbs (227kg) |
| 质保期 | 一年质保期，相关耗材除外，如炉管密封圈，加热元件等易耗件 |
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