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SOI基片
- 型号：
- Si+SiO2+Si
- 产品概述：
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
| 常规尺寸
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dia4" 镀膜层：20um Si P/B + 2umSiO2+500um Si undoped |
| 技术参数
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国产SOI：膜层厚度可以按照客户需求加工 | ①顶层2um±0.5（5点）, BOX层2um±0.1 , P型，总厚度大约621um, 平整度LTV < 1um | ②顶层3um±0.5（5点）, BOX层2um±0.1，P型，总厚度大约622um, 平整度LTV < 1um | 电阻率Ω.cm：15-25 ohm.cm； | 进口SOI： | 点击查看：http://mtixtl.com/soiwafersilicononinsulator.aspx |
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| 常规尺寸
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SOI | φ4″ | SOI | φ4″ | SOI | φ6″ | SOI | φ6″- | SOI | φ6″- |
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| 备注
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1000级超净室100级超净袋单片盒或25片插盒封装 |
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