1200℃小型分体式 真空管式炉 （130mm管径）
关键字：
单温区、真空、分体式
型号：
OTF-1200X-5S
产品概述：
OTF-1200X-5S是一款CE认证的小型开启式管式炉，其最高工作温度可以达到1100℃。炉管Φ130mm(或100mm)的高纯石英管。设备配有一对不锈钢密封法兰，可在真空或气氛保护环境下对样品进行热处理。对于控温系统，可设置50段升降温程序，控温精度为+/- 1℃。此款管式炉最多可对5英寸的晶片进行退火。
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
名称

1200℃小型分体式真空管式炉（130mm管径）--OTF-1200X-5S 
产品提示

1、危险设备使用提示    2、j9九游会实验室邀请提示    3、配件妥善保管提示    4.多型号可选提示
主要特点

·5英寸的石英管和铰链法兰，宽大的腔体可作为箱式气氛炉用（避免了箱式炉炉膛污染问题）

·可用于四英寸基片退火

·可以作为模块，DIY ALD CVD PVD 蒸发炉 回转炉等（具体请致电）

·采用高纯氧化铝纤维作为炉膛材料，并且表面涂有高温氧化铝涂层，可提高加热效率

·采用ABB电器元件

注：铰链法兰选配

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相关视频

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           操作视频                     拆装热电偶
基本参数

·工作温度：1100℃（＜0.5小时） 

·连续工作温度：1000℃

·建议加热速率：≦10℃/min

·加热区长度：300mm 

·加热元件：掺钼铁铬铝合金

·电压：AC 220V 50Hz 

·功率：3KW

·热电偶：K型

更多参数请联系我们
炉体结构

·配有一对不锈钢密封法兰，采用硅胶密封圈密封

·石英管尺寸：Φ130×750mm

·配有2个氧化铝管堵，使用设备时应放在炉管两端，保证恒温区和法兰密封性

·右端法兰为KF25接口，用于连接真空泵

·真空度：10-2torr (采用机械泵) 

·安装有一机械压力表，测量范围为-0.1～0.15MP

·采用PID方式调节温度，可设置50段升降温程序

·带有超温和断偶保护


     图片1.png  炉体结构6.png 
温控系统

·包含一款YD858P型温度控制器；

·PID自动控温系统；

·智能化50段可编程控制；

·内置过热保护和热电偶故障报警；

·控温精度：±1℃；

·默认DB9 PC通信连接端口；

·通过MET认证；

·可选购电脑温度控制软件(用于YD858P系列控制器)用于控制升温曲线和导出数据；

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真空系统（选配）

·采用双旋片式机械泵真空度可以达到10-2toor

·如果想要获得更高的真空度（10-5toor or better）可选购国产或进口高真空机组

 图片3.png 
外形尺寸

·炉盖关闭尺寸：440mm（长）×440mm（宽）×460mm（高）

·带法兰支撑（每个260mm），总长：960mm（长）×440mm（宽）×460mm（高）

·炉盖打开尺寸：440mm（长）×440mm（宽）×700mm（高）

·带法兰支撑（每个260mm），总长：960mm（长）×650mm（宽）×700mm（高）

·温度控制器单位：260mm（长）×350mm（宽）×410mm（高）

重量：约48KG


外形尺寸.jpg
认证

·此产品已通过CE认证

  证书编号： M.2021.206.C67997

·若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证

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质保期

一年质保期，终生维护

· 特别提示：

1、耗材部分如加热元件、石英管、样品坩埚等不包含在内

因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内
产品在线展示

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j9九游会实验室用此设备做出的部分结果，以供您参考。

以下数据仅针对合肥j9九游会设备，不具有普遍性。如果您想了解详细实验方法，请联系j9九游会实验室索取详细实验报告。同时欢迎您带着材料重复下列参数。

硅钢退火

        实验室案例1.png

Nb2O5粉（未处理前）      Nb2O5粉（处理后）

   实验室案例2.png       实验室案例3.png

热处理硅片

主要特点2-水印.gif实验室案例4.jpg


Poster—粉末冶金（钛片退火）.jpg

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相关可选

配置可选1.jpg

可选购5英寸的水冷铰链法兰，并带有支撑架

备注：铰链法兰

配置可选2.png


可选购数显防腐真空计

配置可选5.png


您可能需要在真空端部安装一个手动挡板阀

配置可选8.png

可选购欧陆型温控仪表，控温精确度可以提升到±0.1℃。

配置可选3.jpg                   配置可选4.jpg


可选购石英管堵，提高炉管内的洁净度和帮助获得高真空

配置可选13.png

可选购MTS02-B控温模块，可用电脑设置和显示温度程序

配件可选6.png                        配件可选7.jpg


可选购铠装K型热电偶，通过法兰的铠装孔伸入到炉管内部，测量样品的实际温度

     配置可选9.png             配置可选10.png             配置可选11.png


可选配件12.png


您可以订购带真空泵和温度校准套件的炉子


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公司简介

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