| 产品提示 | ||||
| 名称 |
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| 型号 |
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| 主要参数 |
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| 溅射头&样品台 |
图一 图二 图三 图四 图五 |
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| 溅射电源 |
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| 靶材 |
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| 溅射腔体 | • 采用石英腔体，尺寸：166 mm OD×150 mm ID×250 mm H • 密封法兰:直径为174 mm，采用金属制作，密封采用O形密封圈 |
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| 真空系统 | • 安装有KF25真空接口 • 数字真空压力表（Pa） • 此系统运行可通入气体运行（可在本公司选购各种真空泵） （1）采用机械泵<1.0E-2 Torr（参考值，详情请点击） （2）采用涡旋分子泵<1.0E-5 Torr（参考值，详情请点击） |
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| 产品外形及尺寸 | • 550*550*1100（长*宽*高） |
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| 进气 | • 设备上配1/4英寸进气口方便连接气瓶 • 设备前面板上装有一气流调节旋钮，方便调节气流 |
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| 薄膜测厚仪（可选） | • 可在本公司选购薄膜测厚仪安装在溅射仪上 |
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| 质保 | • 一年保修，终身技术支持。 • 特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 点击查看售后服务承诺书 |
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| 认证 | ·此产品已通过CE认证 证书编号：M.2021.206.C67994 ·若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证
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实验室参考案例 | j9九游会实验室用此设备做出的部分结果，以供您参考。详细信息，请点击我们的j9九游会实验室
实验案例照片（点击大图查看详情）
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应用技术提示
| 1、为了保证溅射效果，非导电靶材必须安装铜垫块 2、有时为了达到理想的薄膜厚度，可能需要多次溅射镀膜 3、为了得到较好的薄膜质量，必须通入高纯气体（建议> 5N） 4、在溅射镀膜前，确保溅射头、靶材、基片和样品台的洁净 5、要达到薄膜与基底良好结合，请在溅射前清洁基材表面 6、在分子泵出口安装有一个可手动操作的挡板 超声波清洗：（1）丙酮超声（2）异丙醇超声-去除油脂（3）吹氮气干燥（4）真空烘箱除去水分。 等离子清洗（详细参数点击下面图片）：可表面粗糙化，可激活表面化学键，可祛除额外的污染物。 制造一个薄的缓冲层（5纳米左右）：如Gr，Ti，Mo，Ta，可以应用于改善金属和合金的附着力。 |
警示 | 注意：产品内部安装有高压元件，禁止私自拆装，带电移动机体。 1、1英寸靶头最大使用功率为100W 2、2英寸靶头最大使用功率为300W 3、气瓶上应安装减压阀（设备不包括），保证气体的输出压力限制在0.02兆帕以下，以安全使用。 4、溅射头连接到高电压。为了安全，操作者必须在关闭设备后才能进行装样和更换靶头等操作。 5、请勿在易燃易爆气体环境下使用该设备 6、请勿在潮湿的环境下使用该设备 7、机体上禁止放置茶杯等装有液体的器物 8、禁止仪器通电状态下去拔插电源插头 |
配置可选 |
2英寸高真空加热台 |
薄膜测厚仪 |
供气系统 |
涡旋分子泵<1.0E-5 Torr |
薄膜测厚仪 |
水冷机 |
真空干燥箱 |
冷肼 | |
靶材 |
晶体衬底材料 |
超声清洗机 |
等离子清洗机 |
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皖公网安备 34012302000974号