900℃带多通道质子流量计控制系统RTP管式炉
关键字：
质子
型号：
RTP-1000-LCD
产品概述：
RTP1000-LCD是一款4"RTP (快速热处理) 管式炉。包括多通道质子流量计控制系统，在操控的同时，可实时查看气体流量曲线和数据。他专为半导体基片和太阳能电池或其他样品（尺寸可达3"）退火而设计。 这款设备是采用短波红外灯加热，最快升温速度是50℃/秒。 50 段精确温度控制，仪表控温精度是 +/-1℃。RS485接口和控制软件可以通过计算机控制炉子运行并显示温度曲线。
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
设备名称

900℃带多通道质子流量计控制系统RTP管式炉—RTP-1000-LCD （2019.12.24—j9九游会实验室审核）
产品提示

1、多种配件可选提示   2、j9九游会实验室邀请提示   3、配件妥善保管提示
主要特点

· 快速升温，最高达50℃/s。

· 配有多通道质子流量计控制系统，在操控的同时，可实时查看气体流量曲线和数据。

· 超大管径φ110mm。

· 最高温度可达900℃。

· 法兰上安装有滑轨可直接推拉操作。

· 开门断电。
基本参数

· 工作温度：最高900℃(<10min)；800℃(<30min)；600℃(长期)    

· 最快升温速率：室温~800℃： 50 ℃/s，800℃~900℃： 10℃/s                   

· 法兰：KF-25D型不锈钢高真空法兰         

· 加热区长度：190mm                              

· 加热元件：8根红外灯管(每根1.5KW)    

· 最大功率：12KW(>60A 保险)       

· 设备电源：AC220V/50HZ 单相 

· 循环水流量:0.5 m3/h

· 标配流量计量程范围：16-160 ml/min

· 多通道质子流量计系统参数

· 输入电压：AC 220V/50Hz单相

· 功率：23W



产品

二通道

三通道

四通道

五通道

工作温度

5-45℃

5-45℃

5-45℃

5-45℃

最大压力

3*10^6 Pa

3*10^6 Pa

3*10^6 Pa

3*10^6 Pa

精度

±1.5% FS

±1.5% FS

±1.5% FS

±1.5% FS

重复精度

±0.2%FS

±0.2%FS

±0.2%FS

±0.2%FS

流量范围

一路：1~199 SCCM

二路：1~199 SCCM

一路：0~100 SCCM

二路：1~199 SCCM

三路：1~499 SCCM

一路：0~100 SCCM

二路：1~199 SCCM

三路：1~199 SCCM

四路：1~499 SCCM

一路：0~100 SCCM

二路：1~199 SCCM

三路：1~199 SCCM

四路：1~499 SCCM

注意

其他流量范围的可定制（0~100 、1~200 、1~500 、1~1000 、1~2000 、1~5000 SCCM），需额外费用

五-九路可按照客户要求定制



更多参数请联系j9九游会销售部
多通道质子流量计控制系统

· 适用于低压小流量，多种气体单一/混合连续供气系统。尤其方便多种气体的切换使用，而不会造成大气进入加热管。

· 气体压力和流量数据在同一平面直观可读，外形美观、实用，操作简便。

· 采用触摸屏来控制气体的流量，显示流量准确，方便操作。

· 所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接，便于维修拆卸。
真空法兰

· 不锈钢真空法兰安装在炉管的两端，便于组装，法兰上有1/4英寸直径的通孔，用于插入K型热电偶。

· 热电偶：K型，热电偶的头部从下方接触氮化铝样品架。
温控系统

· 采用PID方式调节温度，可设置50段升降温程序

· 温控仪表中带有过热和断偶保护

· 仪表控温精度: +/- 1°C

· 热电偶型号：K型
开门断电

· 为保证使用安全，该电炉为开门断电设计


  
质保

· 一年保修，终身技术支持。
· 特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。

             2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。


点击查看售后服务承诺书。

j9九游会实验室对OTF-1200X-4-RTP设备的追温温差和恒温精度做了一系列实验研究，得出以下经验以供参考：


1）升温速率越慢，控温精度越高，升温速率越快，追温温差越大。

升温速率

追温温差

控温精度（恒温精度）

1℃/s

< 5℃

+-0.5℃

2℃/s

< 10℃

+-1℃

50℃/s

温差较大，但30s内恒温

+-1℃



2）570℃以下降温不可控。

降温速率

可控温度情况（参考）

40℃/min

570℃以上，可控制降温

60℃/min

600℃以上，可控制降温且误差<5℃，600℃-570℃，误差<10℃





实验名称：RTP快速升温炉的升温速度与最终温度间的可调关系

实验目的：1、升温速度能否保持恒定；

2、恒温波动是否小于1℃；

3、实现目的：保持一定的升温速度，待到达恒温温度时，升温速度减缓的温度点越接近恒温温度越好。

适用领域：铁磁性材料的制备

实验结果：

100℃/min，到400℃

斜率基本恒定；冲温＜1℃；升速减缓点在398℃

100-400.png

100℃/min，到700℃

斜率基本恒定；冲温＜1℃；升速减缓点在698℃

100-700.png

400℃/min，到400℃

斜率基本恒定；冲温≤1℃；升速减缓点在395℃

400-400.png

400℃/min，到700℃

斜率基本恒定；冲温≤1℃；升速减缓点在395℃

400-700.png

300℃/min，到700℃

斜率基本恒定；冲温≤1℃；升速减缓点在795℃

300-700.png

600℃/min，到700℃

斜率基本恒定；冲温≤2℃；升速减缓点在790℃

600-700.png

以上数据总结，存在调试差异，具体详情请联系合肥j9九游会实验室

应用技术提示

· 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀。

· 进入炉管的气体流量需小于200sccm，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击。

· 该设备的长时间使用温度为600℃。

· 降温时请利用程序降温，不建议直接按“STOP”键降温，设备温度未降到室温前不要直接关掉设备电源，防止出现安全问题。

· 此炉可以增加镀SiC的石墨坩埚改造成RTE(快速热蒸发）炉（可查看下方的图片自己制备RTE）

· 在进行化学气相沉积后，石墨烯可从金属催化剂转移到另一个基片衬底上，此法可被广泛应用制备二维材料。通过CVD法生长的石墨烯，表面平整度高且无残渣。

· 严禁氧气和氢气同时使用或混合使用，使用有毒有害，易燃易爆的气体前请严格检查气路的气密性，使用氢气前排空管内的氧气。不用氢气时，应关闭阀门。

· 第一次使用，或长时间不用再次使用时，请分别点击二个“通道清洗”（清洗通道），将管路内有可能存在的污染物或气体进行吹洗。

· 流量计通道采用的材料为: 00Cr17Ni14Mo2 (相当于316L不锈钢) ,氟橡胶等为易腐蚀材料。通入的气体应无水汽、低泄漏、需勤清洗、如果要使用腐蚀性气体用户应在定货时声明。

· 不得通氯化物、硫化物、氨气等易腐蚀的气体，否则容易损坏通气管道，混气罐等不锈钢材质的配件。由于通入腐蚀性气体而造成的设备损坏公司售后维修会收取相应的费用。

· 由于气瓶内部气压较高，所以向混气系统内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀。减压阀应采用调控范围在0.02—0.25Mpa 的专用气体减压阀（YQY-6（氧）、 YQQ-9（氢）、YQE-03（乙炔）、YAr-04（氩气）等）

· 氢气瓶必须使用专用的减压器，开启气瓶时，操作者应站在阀口的侧后方，动作要轻缓。

· 气瓶应放置在阴凉通风处，避免阳光直晒，又能耐火的专门建筑物或室外，严禁将气瓶和高温设备放在一起。

· 严禁使用瓶口有油污的氧气瓶。

· 每只气瓶最低必须保留0.5 MPa的余压。

注意事项

· 当炉体温度高于200℃时，请一定连接并运行水冷机，防止对设备造成损坏。

· 当炉体温度高于900℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态。

· 炉管内气压不可高于0.02MPa。

· 炉管不建议正压使用，对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）。

· 不要放在不平或有震动的产所，否则容易引发设备不稳而倾倒的危险。

· 不要将螺钉、垫片等金属物掉进设备内部，否则有使设备发生短路或火灾的危险。

· 不要放在容易溅上水的场所，水等进入产品本体的话，可能引起火灾、触电事故。

· 设备的控制电路部分要进行定期检查（半年检查一次），对线路进行紧固，若发现有线路有绝缘层脱落、接线脱落时应及时处理，否则会导致设备短路或发生火灾的危险。

· 必须由具有专业资格的人员才能更换零件，严禁将线头或金属物遗留在设备内，否则有引发爆炸和发生火灾的危险。

可选配件

· 红外灯管为可更换的(图1)，如有需要请联系我们的销售人员。

· 样品架可选：3"O.D的石墨衬底替代AlN陶瓷片。(图2)

· 可选：将含坩埚盖盖规格为87 O.D×71 I.D×12 H mm的石墨坩埚设计三个坩埚架，则可被改造成一个RTE，CSS或HPCVD炉，另外石墨坩埚表面涂有SiC涂层。(图3)

· 多种供气系统可选。(图4)

· 建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全。（请点击这里学习如何安装减压阀）(图5)

· 可选购压力控制模块来监控并保持工作腔室压力稳定。(图6)

· 可与气液混合罐配合使用。(图7)

· 可与精密液体气相发生器配合使用。(图8)


MTS-02 控制软件，可在电脑上显示和设定压力和温度程序，以达到远程控制。

· 购买带有PC控制的加热炉，如有疑问请联系我们的销售人员。


配件 3.jpg     配件 4.jpg  

水冷机(选配）

· 可选购水冷机降低法兰总成温度，避免高温密封硅胶圈融化。


06.jpg

真空配件(选配）

· 真空可选配件包括真空泵，波纹管和手动挡板阀。


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· 对于易损耗件高温硅胶O型密封圈除了标配数量外可进行额外订购。



02.jpg


· 机械真空计（作为设备标配），范围从-0.1到0.15Mpa。

· 可选配防腐型数显真空表，测量范围为3.8×10E -5至1125 Torr之间。除了具有较高的精度和重复性及较短的响应时间外，该仪表还降低了由于气体类型依赖性而造成的气压读数错误从而导致的腔室爆炸风险。


图片1.jpg

真空泵组(选配）

此设备也可以进行抽真空，配合本公司生产的真空泵组

配件18.jpg

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