1200℃小型流化床CVD炉（带1英寸外径石英管和法兰，用于粉末CVD）
关键字：
FBCVD适用于粉末样品
型号：
OTF-1200X-S-FB
产品概述：
OTF-1200X-S-FB是一款流化床立式管式炉，专门针对粉末表面沉积的CVD实验，炉管为高纯石英管，炉管内部嵌有一多孔石英板，石英板的孔径为5-15um.粉末可放在多孔石英板上，气体可从炉管下端通入，通过多孔石英板使样品颗粒悬浮在加热区域，进行沉积实验。
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
设备名称

• 1200℃小型流化床CVD炉-OTF-1200X-S-FB
产品提示

1、多种配件可选提示   2、特殊设备尺寸设备    3、j9九游会实验室邀请提示    4、配件妥善保管提示
产品特点

• 采用双层壳体结构并带有风冷系统

• 炉体设计为开启式，以方便与更换炉管

• 采用高纯氧化铝作为炉膛材料，炉膛表面涂有美国进口高温氧化铝涂层可以提高加热效率和炉膛使用寿命

• 专门针对粉末表面沉积的CVD实验
基本参数

• 温度：最高1200℃ （长期1100℃）

• 建议升温速率：≤10℃/min

• 热偶：K型热偶    

• 电源：220V  

• 最大功率：1.2KW

• 控温精度：±1℃

• 炉管尺寸：两端Φ25mm（中间Φ50mm）；长482mm

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• 炉管材料:采用高纯特质石英炉管

• 加热区:加热区长度：200mm

• 加热元件:掺钼铁铬铝(表面涂有氧化锆涂层，可以极大程度延长使用寿命）

 多孔石英板:

• 孔径：10-15微米

• 尺寸：φ22mm x 4mm 厚

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温控系统:

• 包含一款YD858P型温度控制器

• PID自动控温系统

• 智能化50段可编程控制

• 默认DB9 PC通信连接端口

• 通过MET认证

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外形尺寸

炉体尺寸：340mm×300mm×1300mm ( W x L x H)

炉膛尺寸：Φ80X200
净重

• 约20 kg
认证

• 若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。

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质保期

• 一年保修，终身技术支持。
• 特别提示：

  1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。

  2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
点击查看售后服务承诺书。

应用技术提示

·购买前请联系我们，确定进出气口以及阀门种类。

·石英管的长时间使用温度＜1100℃。

·设备使用过程两边添加管堵，保证恒温区和法兰密封性。

· 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。

·若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等）。

警示

• 炉管内气压不可高于0.02MPa。

• 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公 司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全。

• 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态。

• 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击。


真空系统

▪ 通过机械泵可达到10E-2 Torr.

▪ 通过分子泵泵可达到10E-5 Torr.

图片5.png

供气系统

（可选）

▪ j9九游会公司提供各种通道浮子、质子流量计可供选择，以实现气体流量的精确控制。

单通道浮子

单通道质子

两通道浮子

两通道质子

多通道浮子

（防腐）

图片6.png95870759.jpg图片8.png37906452.jpg图片10.png


减压阀

• 可选用本公司减压阀，以实现气体压力的精确控制。

图片11.png


PC控制(选配）

• 可选购电脑温度控制软件(用于YD518P系列控制器)用于控制升温曲线和导出数据

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