1200℃坩埚可移动型HPCVD炉
关键字：
CVD 坩埚可移动
型号：
OTF-1200X-S-HPCVD
产品概述：
OTF-1200X-S-HPCVD是一款坩埚可在炉管内移动（靠步进电机控制）的小型开启式管式炉。炉管外径为50mm,设备最高工作温度为1200℃。通过触摸屏数字控制器控制样品台或坩埚在炉管内的位置和温度。此设备可进行快速热处理，例如混合物理化学沉积（HPCVD），快速热蒸发（RTE），以及在各种气氛下进行的水平布里奇曼晶体生长（HDC），用于新一代晶体研究。
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
产品名称

1200℃坩埚可移动型HPCVD炉-OTF-1200X-S-HPCVD
产品提示

1.多种配件可选提示    2.j9九游会实验室邀请提示    3.配件妥善保管提示
产品特点

· 炉子配备步进电机，通过触摸屏数字控制器使样品台或坩埚在炉管内移动。

· 最高温度可达1200℃。

· 双层壳体结构，并带有风冷系统，可有效降低壳体表面温度。

· 内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命。

· 可选择改造为双温区管式炉，但需额外付费，以产生更高的热梯度或更长的恒温区。

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基本参数

· 最高温度: 1200℃（≤30min）  工作温度: 1100℃

· 推荐升温速率:≤10℃/min

· 加热区长度：200mm

· 加热元件：掺钼铁铬铝合金

· 电压：220V

· 最大功率为：2KW
真空密封

· 高纯石英管50mm外径x44mm内径x 450mm长

· 采用KF结构密封法兰，硅胶密封圈密封

· 法兰上安装有一个机械压力表

· 右端法兰与一个真空不锈钢波纹管连接
坩埚移动机构和PLC控制

· 一个直径为1/4＂的铠装热电偶（K型），通过法兰伸入到炉管中，并可随坩埚移动，可实时监测样品的实际温度。（见图一）

· 通过步进电机移动炉管内的坩埚（样品台），最大行程为100mm。

· 通过触摸屏设定坩埚一定的距离和目标位置，坩埚移动速度为180mm/min（可根据要求提供变速控制，但需额外付费）。（见图二）

· 在热电偶上安装了一个微型坩埚舟。（ 见图三）

· 可根据要求提供用于晶片的氮化铝样品架或石墨平板基底支架，将收取额外的定制费（见图四）。

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             图四                                              图五                  
温控系统

· 采用PID方式调节温度，可设置50段升降温程序

· 温控仪表中带有过热和断偶保护

· 仪表控温精度: +/- 1°C

· 热电偶型号：K型
质保

· 一年保修，终身技术支持。
· 特别提示：

   1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。

   2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

点击查看售后服务承诺书。

应用技术提示

· 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀。

· 进入炉管的气体流量需小于200sccm，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击。

· 石英管的长时间使用温度<1100℃。

· 降温时请利用程序降温，不建议直接按“STOP”键降温，设备温度未降到室温前不要直接关掉设备电源，防止出现安全问题。

· 该多功能炉适用于以下应用：

· RTE（快速热蒸发）：蒸发料放在坩埚中，放入到炉体中心，基片放在样品台上，样品台与热电偶相连接，然后将样品台移动到理想的位置（此位置温度是实验所需要的温度）。

· HPCVD（混合物理化学沉积）：与RTE相似，但需配混气系统，对反应气体混合并控制流量，同时也需设定蒸发料的位置（确定蒸发料的蒸发温度）。

· 水平布里奇曼晶体生长：将样品和籽晶装入坩埚中，并将其放置在炉子的中心位置。以所需的速度移动坩埚，可以在合适的温度梯度下生长单晶。

· 对于水平定向结晶（HDC），您可以使用气体进料槽。（见下图）

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警示

· 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态。

· 炉管内气压不可高于0.02MPa。

· 炉管不建议正压使用，对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）。


可选配件

· 多种供气系统可选。(图1)

· 建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全。（请点击这里学习如何安装减压阀）。(图2)

· 可选购压力控制模块来监控并保持工作腔室压力稳定。(图3)

· 可选购欧陆仪型温控仪表，控温精度可以提升到±0.1℃。(图4)

· 可选购石英管堵，提高路管内的洁净度和帮助获得高真空。（图5）

· 可选购石英舟盛放样品。（图6）

MTS-02 控制软件，可在电脑上显示和设定压力和温度程序，以达到远程控制。

· 购买带有PC控制的加热炉，如有疑问请联系我们的销售人员。  

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真空配件(选配）

· 真空可选配件包括真空泵，波纹管和手动挡板阀。

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· 对于易损耗件高温硅胶O型密封圈除了标配数量外可进行额外订购。

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· 机械真空计（作为设备标配），范围从-0.1到0.15Mpa。

· 可选配防腐型数显真空表，测量范围为3.8×10E -5至1125 Torr之间。除了具有较高的精度和重复性及较短的响应时间外，该仪表还降低了由于气体类型依赖性而造成的气压读数错误从而导致的腔室爆炸风险。

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真空泵组(选配）

此设备也可以进行抽真空，配合本公司生产的真空泵组

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