恒压系统
型号：
GZK-PID-VRD24
产品概述：
GZK-PID-VRD24恒压系统通过PID控制真空泵的转速来控制抽气速率，进而获得腔室压力 的精密测量和恒压控制，与我公司的管式炉/镀膜仪等设备相结合，实现CVD、PECVD等工艺的压力恒定的精确控制，广泛用于扩散、氧化、外延、CVD、等离子溅射以及镀膜工艺、混气配气系统及其他分析仪器中。
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
设备名称型号

恒压控制系统GZK-PID-VRD24 (j9九游会实验室、j9九游会技术部2022.6.15审核）
产品特点

· PLC、触摸屏控制，触摸屏显示真空度及各项工作状态，一键式操作，方便快捷。

· 通过变频器来PID调节真空泵的电机转速从而控制抽气速率，使抽气速率与进气量、漏气率相匹配，从而达到精确的恒压控制

· 600*600的承重台面，可配合j9九游会其他设备使用，节省空间
真空泵

· 型号:VRD-24

· 电源：220V 50/60HZ

· 进气口：KF25

· 抽速：50HZ:6.6L/S

      60HZ:7.9L/S

· 功率：50HZ:1.1KW

      60HZ:0.75KW

· 极限真空：4*10-1Pa（不带负载）
变频器

· 输入：AC220V

· 输出：3*AC380V
数显防腐真空计

· 型号：PGC-554  

· 电源：DC24V

· 测量范围：3.8E-5-1125torr


图片1.png
操作面板

图片2.png



界面上带真空显示值和设定值，一键式操作，方便快捷
压力恒定控制范围

压力恒定控制范围(进气气氛为氩气)：

760mtorr（100Pa）-----225torr（30000Pa）（按照进气量为500sccm）

600mtorr（80Pa）-----200torr（26660Pa）（按照进气量为300sccm）

300mtorr（40Pa）-----185torr（24660Pa）（按照进气量为100sccm）

180mtorr（24Pa）-----100torr（13333Pa）（按照进气量为50sccm）

压力恒定控制精度：180mtorr-----2.5torr（±%10）

                  ＞2.5torr-----10torr（±%40）

                  ＞10 torr------200torr（±%5）
外形尺寸

600*600*700mm


图片3.png
重量

98KG
保质期

1年（不包含炉管，硅胶O型圈和加热元件等损耗件）
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