供气系统
关键字：
单通道、数字式流量设定
型号：
GSL-1Z-LCD
产品概述：
GSL-1Z-LCD是一款单通道的供气系统，结构小巧，操作方便，可用于气体流量的精确控制。此设备可与本公司的管式炉、CVD系统、镀膜设备等配套使用，稳定可靠。
免责声明： 本站产品介绍内容（包括产品图片、产品描述、技术参数等）仅用于宣传用途，仅供参考。由于更新不及时和网站不可预知的BUG可能会造成数据与实物的偏差，请勿复制或者截图。如果您对参数有异议，或者想了解产品详细信息及更多参数，请与本公司销售人员联系。本站提供的信息不构成任何要约或承诺，请勿将此参数用于招标文件或者合同，j9九游会公司会不定期完善和修改网站任何信息，恕不另行通知，请您谅解。 如果您需要下载产品的电子版技术文档，说明书（在线阅览），装箱单，与售后安装条件等文件，请点击上方的附件下载模块中选取。商城产品仅针对大陆地区客户，购买前请与工作人员沟通，以免给您带来不便。
技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
设备名称型号

供气系统  GSL-1Z-LCD 
产品特点

· 结构小巧，操作方便

· 数字式流量设定，方便快捷

· 流量显示精准，稳定可靠
基本参数

· 电源：AC 220V 50HZ

· 功率：20W

· 流量范围：5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM

    1,2,3,5,10 SLM

· 准确度：±1.5% F.S
结构

· 设备背面设有两个φ6.35的卡套接头，一个为进气口，一个为出气口

· 外部通气管道为1/4″的聚四氟管

· 内部通气管道为1/4″的不锈钢管

· 一个φ6.35带塑料手柄的直角针阀安装在设备前面板，控制气体的通断。

· 一个显示仪用于调节气体流量与管道的清洗。
显示仪

· 型号：D08-1F

· 最大流量显示为：9999

· 显示仪的面板上装有“阀控”开关。阀控开关有三个位置，正常工作时置于“阀控”位，需要通气清洗通道时，置于“清洗”位，不用时应置于“关闭”位。

· 设有一个流量设定旋钮，通过旋转旋钮调节进气流量的大小，如下图：气体流量为93(先读旋钮Ａ上的十位数，再读旋钮Ｂ上的个位数）。Ｃ为机械锁（锁上后旋钮无法转动）

· 当需要设定的流量为100 SCCM时，需将A、B旋钮顺时针旋转到0，即上下旋钮所对应的数字为“00”。

图片1.png
设备外形尺寸

360mm（L）*300mm（W）*195mm（H）



图片2.png
重量

约6KG
质保

一年质保期，终生维护





注意事项

· 如果使用钢瓶作为气源时，每只气瓶最低必须保留0.5MPa的余压；

· 减压阀应采用调控范围再0.02—0.25Mpa的专用气体减压阀；

· 标准流量计通道采用的材料为:316L不锈钢和氟橡胶密封圈，通入的气体应无水汽、低泄漏，

在使用流量计过程中需要定期进行清洗。如果要使用氯化物、硫化物、氨气等易腐蚀气体，请

在定货时进行说明。由于定货时没有进行说明并通入腐蚀性气体而造成的设备损坏公司售后维

修会收取相应的费用。

· 我们不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体，如果客户工艺原因确实需要使用易燃易爆和有

毒气体，请客户自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体而造成的相关问题，

本公司概不负责。


免责声明： 本站产品介绍内容（包括产品图片、产品描述、技术参数等）仅用于宣传用途，仅供参考。由于更新不及时和网站不可预知的BUG可能会造成数据与实物的偏差，请勿复制或者截图。如果您对参数有异议，或者想了解产品详细信息及更多参数，请与本公司销售人员联系。本站提供的信息不构成任何要约或承诺，请勿将此参数用于招标文件或者合同，j9九游会公司会不定期完善和修改网站任何信息，恕不另行通知，请您谅解。 如果您需要下载产品的电子版技术文档，说明书（在线阅览），装箱单，与售后安装条件等文件，请点击上方的附件下载模块中选取。商城产品仅针对大陆地区客户，购买前请与工作人员沟通，以免给您带来不便。
附件

Copyright © 2019 合肥j9九游会材料技术有限公司 版权所有 皖ICP备09007391号-1     皖公网安备 34012302000974号

在线产品展示

电脑端请点击客服

设备销售咨询

电脑端请点击客服

晶体销售咨询

电脑端请点击客服

售后咨询

电脑端请点击客服

在线产品展示

王工
沈工

设备销售咨询

王广军（湘、甘、闽、川、渝、滇、黔、藏） 张晨（皖、吉、辽、黑） 黄双双（冀、鄂、蒙、鲁） 王亚东（浙、琼、香港） 严腾飞（晋、桂、新、青、赣、宁、台湾）

晶体销售咨询

陈工 刘工 范工

实验及工艺咨询

余工 朱工 王工 沈工

售后服务

王工 程工 夏工 鄢工 吴工 宫工 冯工