小型真空平板热压机 (50x50mm, 500℃ ,500Kg)
关键字:
500℃ 、上下压板尺寸小、压力控制精确
型号:
VHP-5000N-2
产品概述:
VHP-5000N-2是一款小型化的平板式真空热压机,针对于晶片的焊接或薄膜转移,其可处理最大样品尺寸为50mm x 50mmx15mm。设备优越的性能非常适合于第三代半导体器件的烧结键合研究,仪器最高工作温度为500℃,最大压力为5000N。完全满足于半导体器件制备过程中的封装互联材料的封装互联工艺所需,可提供的真空与气氛环境可以尽可能的减少材料的氧化,是极具性价比的实验室研发设备。
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
电源

· 总功率:500W

· 电源:208 - 240VAC, 50/60 Hz 单相


设备特点

·设备小型化(特效);有效节约实验室空间。
·半导体封装互联材料制备(特效);适用于晶片焊接、薄膜转移及第三代半导体器件的键合研究。
·最大压力5000N;精确控压。
·可以真空及气氛烧结。
·热压最高温度500度。

上下平板热压系统

· 上下加热平台都安装在真空腔体内;

· 上下加热平台在冷态下的平面度为≤0.005mm;

· 两块50mm x50mm加热平台,采用耐热不锈钢制成,最高可承受温度为500℃(<30min);

· 可放入样品最大尺寸为:50*50*15mm;

· 上下各一块200W的加热平台,以达到快速加热的效果;

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· 两个精密的温控系统可设置30段升降温程序,控温精度为+/1℃,500度恒温时的温度波动+/3℃,分别独立控制两个加热平台。

· 温控系统采用PID方式进行温度调节,并带有过热和断偶保护。最高工作温度为500℃(<30 min)

· 连续工作温度:450℃

· 最快升温速率:10℃/min

· 可选购软件和PC接口安装在控温仪表上,可将温度程序和温度曲线导入到电脑中。

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· 在上加热平台上部和下加热平台下部,各安装有一块水冷板,用于实现高温加热时起到冷却作用。


压力控制系统

· 最大压力:500Kg(5000N)(500℃温度状态下)

· 压力控制系统配置电动无油压机

· 无油压机行程为 30 mm;

· 压机带手动和自动两种工作模式;

· 在自动加压模式下,带自动恒压功能,恒压精度:±1Kg(±10N)

· 压力显示范围:1-500 Kg

· 压力控制范围:10-500 Kg(可调)

· 恒压时间设定范围:1—9999min(可调)


真空腔体

· 真空腔体采用304不锈钢制作,并焊接有加强筋(防止真空状态下腔体变形)。

· 真空度<5*10E-2 torr(冷态下,VRD-8真空泵抽30min)

· 一个机械真空压力表安装在真空腔体上,测量内部的真空度,压力表范围-0.1-0.15MPa;可选配安装数显压力表

· 一个φ6.35的卡套接头作为进气口使用,并通过一个不锈钢针阀控制进气的通断

· 一个4英寸的观察窗口用于观察物料形态

· 一个KF25接口用于连接真空系统,且多预留了一个KF16接口

· 腔体背面的两个φ12mm的水管接口用于水冷设备的进出水管,KF50连接板上面的陶峰电极,用于在真空下连接上下加热板和测温热电偶线;

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真空系统(可选)

· 型号:VRD-8

· 抽气速率:2.2 L/S

· 电机功率:370 W

· 极限压强:5×10-1Pa(不带负载)

· 为了得到更高的真空度,可以选购我公司的其他高真空系统 

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水冷系统(选配)

· 型号:KJ-5000

· 工作电压:AC 220V 50HZ

· 工作电流:1.4-2.1A,制冷量:2361Btu/h

· 压缩机功率:300W,水箱容量:6L

· 最大流量:16L/min,净重:24 Kg

· 外形尺寸:550*280*430mm

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重量

约 43Kg


外形尺寸

主机:200mm(L) x 130mm(W) x 700mm(H)

控制箱:340*300*140mm

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质保期

一年质保期,终生维护





 

   注意事项

· 保持整个机器的清洁、定期清理。防止粉尘,最好将机器放在一个无粉尘的环境中工作。

· 开机时如果上次压机关机不在最低点,机器会自动复位到最低点。

· 取料时请佩戴防护手套,以防烫伤

· 腔体内气压不可高于0.02MPa;

· 由于气瓶内部气压较高,所以向腔体内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,为了确保安全,建议使用压力低于0.2MPa,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全;

· 我们不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体,如果客户工艺原因确实需要使用易燃易爆和有毒气体,请客户自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体而造成的相关问题,本公司概不负责。


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