| 设备名称与型号 | 三靶等离子溅射镀膜仪 VTC-16-3HD |
| 主要参数 | · 输入电源： AC 220V 50/60HZ · 溅射电流：0-40mA可调 · 功率：＜1KW · 输出电压：最大1680V DC |
| 溅射腔体 | · 材质：采用石英材质作为腔体 · 尺寸：OD166mm*ID150mm*150mm · 密封：采用O型圈密封 · 法兰盖上安装了一个可手动操作的挡板，用于靶材的预溅射。一个φ6.35的卡套接头为进气口，用于连接进气管。一个手动放气阀用于往石英腔体内部充入空气。 ·一个不锈钢网罩罩住整个石英腔体，以屏蔽等离子体。
· 通过调节壳体右侧的微量精密调节阀控制进入石英腔体内部工作气体的流量，从而达到调节腔体内部的真空度 · 通过调节壳体右侧的电位器，实现对溅射电流大小的控制。
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| 靶材 | · 标配三块铜靶材 · 靶材尺寸要求：φ47*（0.1-3）mm厚度 · 可在我公司选购其他金属靶材，详细请咨询销售部门 · 安装有一可手动操作的挡板，用于靶材的预溅射。 |
| 样品台 | · 一个φ50mm的可旋转的样品台，样品台支撑柱上有固定螺丝，拧松螺丝即可调整样品台的高度； · 样品台旋转角度:0/120/240度； · 靶材和样品台之间的距离为20-70mm可调；
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| 控制面板 | · 4″PLC集成触摸屏控制面板，可控制真空、电流、样品溅射时间
· 数据记录功能可以记录每次溅射的真空度、电流和溅射时间等工艺参数，方便客户进行查询 |
| 真空系统（选配） | · 型号：VRD-8 · 抽气速率：2.2 L/S · 电机功率：370 W · 极限压强：5×10-1Pa（不带负载） · 实际压强：≤5 Pa（冷态下机械泵抽20分钟） · 如果想要获得更高的真空度（10-5toor or better）可选购国产或进口高真空机组
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| 质保和质量认证 | · 一年质保期，终生维护 · CE认证 |
| 外形尺寸 | 460*400*500mm（长*宽*高） |
| 重量 | 约20KG |
| 使用提示 | · 为了达到理想的薄膜厚度，需要多次溅射镀膜 · 在溅射镀膜前，确保溅射头、靶材、样品和样品台的洁净 · 要达到薄膜与基底良好结合，请在溅射前清洁基材表面，可选购本公司的清洗设备进行清洁 · 此款设备可放入手套箱中溅射（Ar或N2气氛环境） |
注意事项 | · 腔室内气压不可高于0.02MPa（相对气压）； · 由于气瓶内部气压较高，所以向石英管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全，建议使用压力低于0.02MPa，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全； · 我们不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体，如果客户工艺原因确实需要使用易燃易爆和有毒气体，请客户自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体而造成的相关问题，本公司概不负责。 |
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