| 设备名称型号 | 小型蒸发镀膜仪 SPC-1 |
| 产品特点 | · φ6英寸的石英腔体，便于清洁和放入样品 · 安装有一个2英寸的样品台，且样品台可旋转，使所制薄膜更加均匀 · 气体流量端口和阀门内置可用于腔室净化和CVD实验 |
| 基本参数 | · 输入电源：220V，50/60HZ · 功率：＜700W |
| 真空腔室 | · 材质：高纯石英 · 尺寸：外径φ166*内径φ150*L150mm · 密封法兰: 采用金属铝制作，采用硅胶密封圈密封 · 一个快速挡板安装在法兰上 · 一个不锈钢网罩住整个石英腔体
· 真空度：<7.5×10-2 Torr （采用双极旋片真空泵）,<5×10-3 torr （采用涡旋分子泵） |
| 进、出气口 | · 进气接口为1/4NPS，可向真空腔室中通入惰性气体，对腔体进行清洗，也可通入反应气体，进行反应蒸发镀膜。前面板上安装了一个微量调节阀，用于调节进气流量 · 侧面还有一个KF25的抽真空接口，内置一个真空计，可在触摸屏上显示腔室真空度 · 腔体顶部法兰上有一个排气口用于排气 |
| 样品台 | · 样品台可旋转（为了制膜更加均匀） · 旋转速度：5 r/min · 样品台尺寸：直径φ50mm （最大可放置2英寸的基片） · 样品台可选配带加热功能，最高加热温度可达500℃
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| 温控及加热源 | · 采用钨丝篮作为发热源，钨丝篮两端的引线连接在法兰带内部的接线柱上，接线柱的电极线与蒸发电源相连。电极上安装了聚四氟绝缘套 · 钨丝篮尺寸：φ1*22*20mm · 控温方式：手动控温，通过旋转蒸发电源面板上的电流调节旋钮调节电流值，从而调节温度
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| 蒸发电源 | · 输入电压：AC 220V · 最大输出功率：500W · 最大输出电流：0-100A可调 |
| 真空系统（选配） | · 型号：VRD-8 · 电源：AC220V/50Hz · 功率：0.4KW · 极限真空度：5.0*10-1Pa（无负载） · 抽气速率：2.2L/s · 抽气口：KF25接口
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| 设备外形尺寸 | 410mm（L）*350mm（W）*580mm（H）
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| 净重 | 约40kg |
| 质保 | 一年保修，终身技术支持 特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损失不在保修范围内。 |
注意事项 | · 腔室内气压不可高于0.02MPa（相对气压）； · 由于气瓶内部气压较高，所以向石英管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全，建议使用压力低于0.02MPa，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全； · 我们不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体，如果客户工艺原因确实需要使用易燃易爆和有毒气体，请客户自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体而造成的相关问题，本公司概不负责。 · 蒸镀电流大小取决于蒸镀的钨丝蓝，标配的钨丝蓝建议电流≤40A · 蒸镀仪在工作中严禁旋开试样室充气阀充气、关闭真空泵。 · 钨丝蓝必须在真空状态下（＜5Pa）才能通电加热，否则会被氧化。 |
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