混合式PVD镀膜仪（连接手套箱，2英寸射频溅射仪+2源蒸发镀膜仪）
型号：
VTC-H3-GB
产品概述：
VTC-H3-GB是一款特殊的PVD镀膜系统（镀膜仪与手套箱相连接），设备组成主要有RF等离子溅射仪溅射头和2个蒸发源，设备主要用于固态电池探索。RF等离子溅射主要用于在电池正极极片上镀上固态电解质，一个蒸发源用于将金属锂蒸镀到电解质膜上，另一个蒸发源将金属铜蒸镀到金属锂层上。
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
电源

·AC 208-240V 单相 50/60 Hz

·功率；1.5 KW (手套箱); 2.5 KW ( 镀膜仪)

·总功率:  4.0 KW
手套箱

·腔体尺寸: 1200 mm L x 740 mm W x 900 mm H

·手套箱内 O2 & H2O 含量小于1PPM

·腔体材料: 304 不锈钢，厚度3mm

·手套箱前仓门可开启

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真空腔体和样品台

·镀膜仪真空腔体采用SS304不锈钢制作，安装在手箱底部

·顶部法兰采用铰链式法兰，可手动开启

·2个使用观察窗口安装在腔体上

·等离子溅射头和2个蒸发加热源安装在真空腔体底部

·一个可加热旋转样品安装在顶部法兰上，最大可安装直径4英寸样品。

·样品台旋转速度: 5 rpm

·一个旋转挡板安装在法兰底部，避免蒸发源和溅射头之间相互污染

图片2.png
射频溅射电源&溅射头

·溅射电源：频率13.5MHz,300W,自动匹配功能

·一个2英寸的溅射头（带水冷却管道），安装在真空腔体上

·一个流量16L/min的循环水冷机安装在手套量底部

·RF溅射仪可溅射导电和非导电材料
热蒸镀

·2个钨线圈加热源，带有2个B型热电偶和氧化铝坩埚，安装在真空腔体内（图1）

·1个控温仪表，控温精度±1℃，可设置30段温度段（图2）

·一个电源转化按钮，用于在2个加热源之间转化加热

·工作温度:  200ºC - 1700ºC

·建议加热速率:  0.3 ºC/s (RT-1200 ºC) 和 15 ºC/s  (1200ºC - 1700 ºC)

·配有4个氧化铝坩埚和2个钨丝加热圈

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      图1                                                             图2
真空泵

·KF25接口用于连接真空泵

·最大真空度可达10-4Pa(采用分子泵系统）

·一个防腐型数字真空计安装在真空腔体上

·可在本公司选购各种真空泵

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薄膜测厚仪

·真空腔体内安装有一个高精度薄膜测厚仪，可实时监测薄膜厚度

·测量精度:   0.1 Å       

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