防腐型供气系统(100 -1000 mL/min)
型号：
EQ-CGM-3F-PTFE
产品概述：
EQ-CGM-3F-PTFE是一款小型三通道防腐型混气系统，可以与管式炉一起放在小通风柜中。其中与气体接触的部件均由聚四氟乙烯制成（例如阀门、管道、混合罐和流量计），用于输送腐蚀性气体，例如用于 CVD 处理的硫化氢 (H2S) 和硒化氢 (H2Se)。
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
流量计

·三个由聚四氟乙烯制成的防腐气体流量计，流速为100-1000 mL/min（0.1-1.0 L/min）；

·一个机械压力表（混合罐）：0-0.05 MPa
阀门

·前面板有三个聚四氟乙烯针阀，用于控制气体出口

图片4.png
储气罐

·500 mL聚四氟乙烯储气罐；

·内置气体混合罐，可更好的混合气体
管道配件

·由聚四氟乙烯制成的管道配件，可兼容φ6.35mm的管道（尼龙或不锈钢）；

·有三个气体入口，每个通道都有独立的气体流量计；

·12”长1/4”直径的聚四氟管

图片5.png 图片6.png
尺寸

·外形尺寸：340Lx300Dx180H，mm
重量

·7.25kg
质保期

·一年
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应用提示

·如果您的CVD实验涉及腐蚀性气体，如硫化氢，您可选购我公司聚四氟乙烯法兰
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