| 产品特点 | ·500 ~ 10000 RPM 旋转速度（程序控制） ·PTFE腔体，最高加热温度200℃，可对旋涂样品进行干燥 ·适用基片尺寸5mm-130mm ·配有超声雾化头，可是旋涂液体雾化 ·加热型注射泵，可液体加热后再旋涂 ·上罩顶部有一个进气口，可在旋涂时通入气体
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| 注液器 | ·3种液体注射方式： ·超声喷头材质为钛合金，配有电源控制器（图1） ·一个是圆锥型-提供窄的雾化喷束~直径2cm ·一个蘑菇头型-提供宽的雾化喷束~4cm ·加热型注射泵，最高温度120℃（图2） ·一个20ml塑料注射器
图1 图2 图3
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| 涂布腔体 | ·PTFE 腔体具有抗腐蚀性 ·腔体尺寸: 直径150 mm ·最高加热温度: 200°C (<10分钟) ·一系列PTFE真空吸盘（Φ40mm和Φ10mm）
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| 真空泵 | ·配有一台抽速为120L/min的无油真空泵，和直径Φ8mm的真空管
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| 程序控制 | ·可储存12条运行程序，每套程序可设置6段步骤 ·转速:500 rpm - 10000 rpm （程序设定） ·每个步骤最长持续时间60s ·加速度:100 - 2000 rpm/sec （可调） ·精度:< 5%
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| 输入电源 | ·电压：AC 220V ·总功率：1000 W ·旋转电机：24VDC 高速电机 |
| 进气口 | ·一个直径为Φ6mm进气口，在PTFE涂布腔顶部，客户通入气体，可在流动气氛环境下涂布样品
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| 可选 | ·紫外（UV）灯，365nm波长，可用于旋涂材料固化和聚合
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| 产品尺寸 | ·450mm D×280mm W ×340mm H |
| 质保 | ·一年质保期，终身维护 |
| 应用注意事项 | ·设备运转必须放在通风柜中，排除废气（图1） ·薄膜的质量根据浆料粘度，转速和喷雾等参数，需要用户自己探索比较好的工艺 ·不要用任何液体过度冲洗真空卡盘，否则液体会漏入到电机，损坏设备。可以用无纺布擦拭清理设备。 ·为了进一步优化涂布质量，可用等离子体清洗极片后再涂布，可在本公司选购等离子清洗机或等离子枪（图2&3）
图1 图2 图3 |
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