| 产品特点 | ·500 ~ 12500 RPM 旋转速度（程序控制）（最高13000rpm,＜60s） ·PP材质防护罩，具有抗腐蚀性 ·适用基片尺寸Φ10mm-100mm ·上罩顶部有一个进气口，可在旋涂时通入气体 ·配有一个20ml的塑料注射器 ·可在Ar环境下的手套箱内使用（真空泵必须放置在手套箱外） |
| 涂布腔体 | ·PP腔体具有抗腐蚀性 ·腔体尺寸: 直径150mm ·一系列铝制真空吸盘
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| 真空泵 | ·配有一台抽速为120L/min的无油真空泵，和直径Φ8mm的真空管
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| 程序控制 | ·可储存12条运行程序，每套程序可设置6段步骤 ·转速:500rpm - 10000rpm（程序设定） ·加速度:100 - 2000rpm/sec（可调） ·精度:< 5%
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| 输入电源 | ·电压：AC 220V ·总功率：1000W ·旋转电机：24VDC高速电机 |
| 进气口 | ·一个直径为Φ6mm进气口，在PTFE涂布腔顶部，客户通入气体，可在流动气氛环境下涂布样品
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| 注液器 | ·标配：20ml塑料注液器（图1） ·可选1:精密数显电动注液器20-200ul（图2） ·可选2:加热型玻璃注液器，最高温度200℃（图3）
图1 图2 图3 |
| 可选 | ·可选1：PE加热罩，带有PID温度控制器，最高温度120℃（＜10分钟）（图1） ·可选2：PTFE加热罩+Φ10mm PTFE真空吸盘，最高加热温度200℃（＜10分钟）（图2） ·可选3：UV LED 365nm波长，可用于旋涂材料固化和聚合 （图3）
图1 图2 图3 |
| 产品尺寸 |
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| 产品重量 | ·12kg |
| 质保 | ·一年质保期，终身维护 |
| 应用注意事项 | ·设备运转必须放在通风柜中，排除废气（图1） ·薄膜的质量根据浆料粘度，转速和喷雾等参数，需要用户自己探索比较好的工艺 ·不要用任何液体过度冲洗真空卡盘，否则液体会漏入到电机，损坏设备。可以用无纺布擦拭清理设备。 ·为了进一步优化涂布质量，可用等离子体清洗极片后再涂布，可在本公司选购等离子清洗机或等离子枪（图2&3）
图1 图2 图3 |
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