桌面式紫外臭氧清洗机（自动开/关门，清洗面积300×300mm,可选加热样品）
型号：
PCE-33
产品概述：
PCE-33是一款桌面式紫外（UV）臭氧清洗机，自动开/关样品门，可选加热样品台，可用于清洗各种基片来达到比较好的涂膜/镀膜效果，最大有效清洗面积300×300mm。此款设备特别适合移除基片上的光刻胶，改善润湿性，清洗钙钛矿太阳能电池基片，SEM&TEM样品，UV聚合物改性等。紫外臭氧清洗已被证明了是一种无酸性，干燥且无损伤地原子级别清洗手段，特别适合清除样品表面的有机物。设备上所用紫外灯管主要发出2种波长的紫外光185nm和254nm,其中185nm紫外光可把空气中的氧变为臭氧，254nm紫外光激活基片表面的有机物分子，两者结合可有效清除基片表面有机物。
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
产品特点

·清洗面积较大，大达300×300mm

·样品仓门自动开关

·可移除基片表面各种污染物

·样品台可加热，最高温度150℃

·触摸屏控制面板，可设置和现实各种参数
电源要求

·AC220V，50/60Hz

·总功率：950W
UV灯

·设备中包含一台双波长汞灯

·波长：253.7nm和184.9nm

·UV灯使用寿命：5000小时

·UV灯罩区域：300×350mm

·可清洗基片最大尺寸为12英寸，35mm厚度

·UV灯单独包装，防止运输中损坏

·UV灯不在质保范围内

图片1.png
腔体&样品台

·不锈钢壳体

·自动滑动抽屉样品仓

·样品台面积450×450mm

·最大样品厚度：40mm

·一个臭氧排除装置安装在腔体中

·时间设置范围：0.01秒~99.9小时
加热型样品台

·加热台最高温度可达150℃，程序控温

·可设置30段温度段，控温精度±2℃

·最大加热速率：15℃/min

·样品台和UV灯关之间的距离可调节：20~40mm

·可选加热温度达到300℃，控温精度±0.1mm
排气口

·一个直径为75mm的排气口在设备后部

·配有3米的柔性排气管道

图片2.png
质保

·一年质保期，终身维护

·UV灯管不在质保范围内
应用

·清洗Si基片，GaAs基片，石英和ITO玻璃

·清洗各种氧化物单晶片，如蓝宝石，STO和LAO

·清洗Au和Pt基片

·轻金属材料表面氧化

·活化聚合物材料

·UV去除光刻胶

·UV清洗LED显示屏
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