1350℃温控型插入式蒸发源
关键字：
带有磁流体密封，KF50法兰，针对于PVD实验
型号：
GSL-1350X-ISE
产品概述：
GSL-1350-ISE是一款温控型可插入式蒸发仪，适用于蒸发各种金属和有机材料，其最高温度可达1350℃。采用磁流体密封，可保证在旋转的腔体中进行PVD实验。KF50的旋转式快接法兰，可非常方便地与各种真空腔体对接。此模块还配有一进气阀，用于通入气体对腔体进行清洗和排气，保证样品在蒸镀过程中不被氧化。
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
结构 & 特点

此蒸镀系统升温可以手动和自动两种模式。手动模式可以快速加大电流，达到快速加热蒸发，但温控性较差。自动控制控温较准确。

 

采用钨线圈加热，氧化铝坩埚装料，其最高温度可达1350℃

 

精确控温，可设置30段升降温程序，控温精度可达+/- 1 ºC

 

Φ6.35mm进气口，可向蒸镀腔体中通入气体

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电源

电压：208 - 240 VAC 50/60 Hz, 单相, 500W
  温控系统 & 加热源

最高工作温度: 1350ºC (<1hr)., 连续工作温度：1200℃

 

500WDC蒸发电源，最大电流30A

 

钨丝加热，S型热偶测温，氧化铝坩埚装样

 

温控系统可设置30段升降温程序，控温精度：+/- 1 ºC

 

建议升温速率< 30 ºC/min

 

若长期工作在800℃以上，必须用高温棉填满耐火保温层与坩埚之间的间隙。可减少钨丝加热元件的损耗。

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样品坩埚

配有0.7ml的氧化铝坩埚

 

S型热电偶嵌在坩埚底部，用于精确测量加热温度
进气口

6.35进气口，用于向蒸镀腔体中通入气体

 

一个针阀安装在进气口后端，用于控制其气体流量
可选

可选购快接法兰,接口为KF50，可与Φ50mm炉管对接

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质保

一年质保期，终身维护
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