2英寸高真空磁控溅射头
型号：
HVMSS-SPC-2
产品概述：
HVMSS-SPC-2是一款可安装直径为2英寸靶材的磁控溅射头，可适用的靶材种类较广，如金属/绝缘靶材或磁性/非磁性靶材。环形NdFeB永磁体安装在溅射头上，以保证溅射镀膜的效率和均匀性。此款溅射头可与DC或RF电源配合使用。
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
特征

· 采用高质量的不锈钢和陶瓷材料制作

· 采用电磁场的有元计算法来设计永磁体，以得到较高的磁场强度和均强场分布

· 磁体表面涂有一层保护层，以防止冷却水的腐蚀，延长其使用寿命

· 标准的HN型接头，可与DC和RF电源相匹配

· 安装是采用标准真空接头，便于操作

更换靶材较为简单，无需调整溅射头的高度

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所需功率

· DC（最大）1000W

RF（最大）500W
最大溅射电流

3A
溅射电压

100-1000V
溅射时腔体真空度

5-100 mTorr
溅射均匀性曲线图

image.png
尺寸

阳极护套直径：3.5英寸

总长度：14英寸
靶材

直径: 2.0英寸(50.8mm)

厚度: 对于非磁性靶材，最大厚度为1/8英寸
对于磁性靶材，最大厚度为1/16英寸

靶材利用率：30%

磁铁:NdFeB 稀土磁铁
需要冷却水

流速:0.8 GPM

进水温度:<20 ℃

水管:0.25" OD.
可选配件

· 当同时购买300W射频发射器和2英寸磁控溅射头时，本公司会赠送一高真空快速接头

· 此快速接头的内径为0.75英寸，可将溅射头安装在真空腔体上，真空腔体上的安装孔直径为1英寸，真空腔体的壁厚不得大于1英寸
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循环水冷机，流量为16L / min ，水箱容积为6L
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外形尺寸

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质保

一年质保期，终生维护

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