1200℃双管滑动式四通道混气CVD系统
型号：
OTF -1200X-4- C4LVS
产品概述：
OTF-1200X-4-C4LVS 双管炉是 一个特殊的双管CVD系统,是专门为在金属箔上生长薄膜而设计,特别是应用在新一代能源关于柔性金属箔电极方面的研究。通过滑动炉子实现快速加热和冷却。请点击下图观看炉子的工作原理。
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
名称

1200℃双管滑动式四通道混气CVD系统
视频

2.1.png

      操作视频

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         仪表操作视频
炉体结构

· 高纯 Al2O3保温材料，保证了炉膛有极好的温度均匀性.

· 内炉膛表面涂有美国进口的1760度高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命/

· 炉子底部的冷却风扇保证了热量正常对外释放.

密封法兰系统全不锈钢制作。
电源

电源:208-240VAC,  50/60Hz, 单相,  2.5KW ( 20A 保险丝)
加热温度

最高温度: 1100°C
     连续温度: 1000°C
加热区

 加热区长度: 440mm 
加热和冷却速度

最快的加热和冷却速度跟工作温度有关，  请点击下图可以看出最快的加热和冷却速度随温度的变化而变化。
( 在使用炉子之前，要校准工作温度和加热、冷却速度 )

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石英管

外管:    OD100 x ID 96 x 1400, mm
    内管:    OD80 x ID 75 x 1800 mm
真空法兰

· 一对 SS304不锈钢法兰，通过用两个高温“O”型圈紧密密封可获得高真空。

· 炉子底部装有一对滑轨

· 炉子可以手动从一端滑向另一端，实现快速的加热和冷却。

· 为了得到较快的加热速度，可以先将炉子预热，然后滑到放置样品的位置。

· 为了获得较快的冷却的速度，把炉子滑向另一端，同时将冷却气体通入样品所在的位置。

OTF-1200X-4-C4-SL-UL 1.jpg OTF-1200X-4-C4-SL-UL 2.jpg      OTF-1200X-4-C4-SL-UL 3.jpgOTF-1200X-4-C4-SL-UL 4.jpg

             左法兰（点击查看大图）                               右法兰（点击查看大图）


· 极限真空度: 10^-2 torr (机械泵)
                  10^-5 torr (分子泵)

· 可选：本公司进口的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。（点击图片查看详细介绍）

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温控仪

· 温控仪:带超温保护和PID调节的 50 段程序控制。

· 控温仪表操作视频

控温精度: +/-1°C
混气系统

4路精密质子流量计：数字显示、气体流量自动控制.

· MFC 1范围:  0~100 sccm

· MFC 2范围:  0~200 sccm

· MFC 3范围:  0~200 sccm

· MFC 4范围:  0~500 sccm

· 气路: 4 路

· 流量精度: 0.2%

· 进气和出气接口: 1/4" 卡套

· 一个混气罐.

· 每路气路都有一个独立的不锈钢针阀控制。  

· 通过控制面板上的旋钮来调节气体流量. 请看下图

MFC 面板(点击放大)

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真空泵

· 安装在移动架底部的机械泵，真空度达 10-3 Torr.

· 真空泵与手动挡板阀之间用KF25 快接与不锈钢波纹管连接 .

· 数字真空表安装在一端的法兰上.

 选择: 可以配分子泵，真空度达 10-5 Torr     
作为基片用的25um厚的铜箔  (选配）

生长石墨烯的铜箔 (150m length x 150mm width x 25um thickness)

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尺寸（mm)

炉体: 550 x 380 x 520
    移动架: 600x600x597
净重

300 lb
保修期

一年质保期 (耗材：如炉管，“O”型圈，和加热元件等不在保修范围内）
使用注意事项

· 炉管内气压不可高于0.02MPa

· 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全

· 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态

· 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

· 石英管的长时间使用温度＜1100℃

对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）
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