三温区顶部籽晶助溶剂法（TSSG）单晶生长炉
关键字：
最高温度1200℃
型号：
VTF-1200X-III-TSSG
产品概述：
VTF-1200X-III-TSSG是一款3温区顶部籽晶助熔剂法（TSSG）晶体生长炉。此设备主要由3部分组成：3温区加热炉（炉膛尺寸为：Φ127mm×600mm,最高温度为1200℃），温控系统可设置28段温度程序段，控温精度±1℃和精密旋转提拉机构，其提拉速度为0.8-50mm/hour.
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炉体

3温区加热： 150mm+300mm+150mm，三个温区由独立的温控系统控制，可创造出较大的温度梯度

最高工作温度： 1200℃（小于1小时）

连续工作温度:  1100ºC

功率:  208V- 240V AC, 50/60Hz, 单相

最大功率： 5KW
控制面板

· PLC触摸屏控制面板，可设置和控制提拉行程，提拉速度和旋转速度等

· 温控系统：可设置28段温度段，采用PID方式调节温度，其控温精度为±0.1℃

· 升温速率： 0~10ºC / min

· 提拉速度: 0.8-50mm/h （可调）

· 下降速度: 40 mm/minute

· 籽晶杆转速: 0.1-23 RPM（可调）
最大提拉行程

300mm
加热腔体

· 腔体直径为Φ135mm(设计为开启式），最大可直径为Φ80mm的坩埚

· 加热区长度600mm

可选购真空密封件：直径为Φ127mm的石英管和密封法兰

 VTF-1200X-III-TSSG 5.png   VTF-1200X-III-TSSG 6.png
设备尺寸

     标注尺寸.jpg
质保

一年质保期，终身维护（不包含炉管，密封圈和加热元件等耗材）
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