1100℃管式炉（过渡金属硫族化合物二维CVD层固体前驱体升华剂研究）
关键字：
单温区、预加热、真空
型号：
OTF-1200X-4-NW
产品概述：
OTF-1200X-4-NW是一种紧凑型CVD炉，专为生长各种纳米线而设计，基片最大3英寸. 在法兰的左侧装有一个预热装置，可对输入的气体、液体、固体进行预加热，然后进入 CVD 炉进行纳米线的生长, 设备搭配可滑动的样品架使操作更为简单.这种系统结构适合于在3“直径的衬底上生长宽范围的过渡金属二卤化物（如MoSe2、MoS2…）和宽禁带半导体（如h-BN）层。
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
产品名称

·开启式纳米线生长CVD炉--OTF-1200X-4-NW
产品提示

1、多种配件可选提示   2、特殊设备尺寸设备    3、j9九游会实验室邀请提示    4、配件妥善保管提示
视频

 OTF-1200X-4-NW 1.jpg

         仪表操作视频
产品特点

OTF-1200X-100单区管式炉：

·采用ABB电器元件

·右侧可滑动支架的法兰，方便操作

·采用双层壳体结构并带有风冷系统

·右侧水冷法兰可滑动，便于样品装载

·加热器与炉子之间的左侧水冷法兰能够更好的密封

·炉膛材料采用高纯氧化铝纤维，能很大程度减少能量损失提高加热效率和增加炉膛使用寿命

·左侧的预热系统可对输入的气体、液体、固体或混合物进行预加热，然后通入CVD炉中。

·预热装置的最高工作温度：600℃

·左侧法兰作为气体通道的同时起到密封作用（详细结构请看下图）

 特别推荐：视频会议产品展示（请点击此链接）
基本参数

加热炉：

·最高温度: 1100℃（≤30min）  工作温度: 1000℃

·推荐升温速率:≤10℃/min

·加热区：440 mm

·热偶：K型热偶  加热元件：掺钼铁铬铝合金

·电压：220V, 额定功率：4KW


预热装置：

·连续工作温度: 0~300°C

·最快升温和降温速度: 10°C/min

·加热区：150 mm

更多参数请联系我们
真空和密封法兰

CVD炉: 

①右法兰:

·水冷可避免密封圈融化

·KF25真空快接更加方便(可与真空泵、波纹管、真空阀等连接）

·滑动使操作更简单：样品可快速的放入和取出

·一个石英样品支架 ( 3英寸 )：与石英挡板滑动法兰连成一体


②左法兰 (在CVD 炉和小加热器之间):装有4个 1/4英寸卡套连结的通气管:

·法兰上有两个独立 1/4英寸接口，可单独将任何气体通入CVD炉

·其中一路通过1/4英寸接口将预热气体通入CVD炉

·另外一路通过1/4英寸口将不加热的气体通入CVD炉(在 CVD 炉内, 通过“T”型结构与加热气体汇合。)
炉体结构＆温控

·CVD炉体加热和前驱体（单独控温）：

·具有PID/自整定功能和50段可编程的数字控制器

·热电偶：K型热电偶，通过右侧法兰进料，控制炉温。

·控温精度：+/-1°C

 OTF-1200X-4-NW 4.jpg
真空度

·机械泵：10^-2 torr

·分子泵：10^-5 torr
产品尺寸

·1200(L)X450(W)X600(H)mm

·重量约：110kg
认证

·此产品已通过CE认证

  证书编号： M.2021.206.C67997

·若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证

 OTF-1200X-4-NW 12.png
质保期

·一年保修，终身技术支持。

·特别提示：

   1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。

   2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

点击查看售后服务承诺书。
产品在线展示

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应用技术提示

·购买前请联系我们，确定进出气口以及阀门种类

·由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全

·当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态

·进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击并同时保护炉内温场。

·石英管的长时间使用温度＜1100℃

·设备使用过程两边添加管堵，保证恒温区和法兰密封性

·为了获得更高的洁净度和真空度，请选用石英管

警示

·不要将装有溶液的容器放在仪器上，防止造成仪器短路

·如需高温取样，请务必穿戴好安全装置

·炉管内气压不可高于0.02MPa

·对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等）


可选相关设备

手动挡板阀、水冷机、防腐真空计、真空系统、液体注入系统（MTI）

图片7.png     OTF-1200X-4-NW 6.jpg  OTF-1200X-4-NW 7.png

      数显真空计          手动挡板阀（安装在真空端部）       多种型号水冷机


可选注液：

OTF-1200X-4-NW 8.jpg     OTF-1200X-4-NW 9.jpg    OTF-1200X-4-NW 10.jpg

   带温控加热的注液器            2.4MHz超声雾化器            可加热型注射泵


真空泵系统：

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