| 特点 | · 与传统CVD相比，处理温度更低 · 管式炉炉膛膛材料采用高纯氧化铝纤维，能最大程度减少能量损失 · 是一款质量可靠、价格合理的紧凑型PECVD系统 |
| 基本参数 | · 工作温度：1200℃（＜0.5小时） · 连续工作温度：1100℃ · 建议加热速率：≦10℃/min · 加热区长度：400mm · 加热元件：电阻丝 · 电压：AC 220V 50Hz · 功率：3KW · 热电偶：K型 |
| 炉管 | · 材质：高纯石英管 · 尺寸：φ50*1400mm · 可选：φ60*1400mm Φ80*1400mm Φ100*1400mm
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| 法兰 | · 标配一套不锈钢真空法兰 · 进气端法兰上安装了一个机械压力表用于观察炉管内的压力，压力表范围-0.1-0.15MPa；一个φ6.35的卡套接头作为进气口使用，并通过一个不锈钢针阀控制进气的通断 · 出气端法兰包含一个φ8mm宝塔气嘴的出气口，并通过一个不锈钢针阀控制出气的通断。一个KF25接口为抽真空接口，用于连接真空系统。一个KF16的接口用于连接电阻真空计。
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| 真空系统 | · 电源：AC220V/50Hz · 功率：0.55KW · 极限真空度：5.0*10-1Pa（无负载） · 抽气速率：3L/s · 抽气口：KF25接口 · 可选配真空度更高的系统
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| 供气系统 | · 型号：GSL-4Z-LCD · 质量流量控制器：100SCCM、200SCCM、200SCCM、500SCCM · 量程可以选配 · 精度：±1.5%FS · 最大压力：0.3MPa · 内部连接1/4英寸不锈钢和聚四氟管 · 内置不锈钢混气罐
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| 射频电源 | · 功率输出范围：0-500W · 功率稳定度：≤±5W · 射频频率：13.56MHZ · 自动匹配 · 噪音：≤50dB · 冷却方式：风冷
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| 外形尺寸 | 1800长*700宽*1150mm高 |
| 重量 | 约120KG |
| 质保 | 一年质保期，终生维护 · 特别提示： 1、耗材部分如加热元件、炉管、样品坩埚等不包含在内 2、因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内 |
使用注意事项 | · 石英管内的气压不可高于0.02MPa； · 气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全，建议使用压力低于0.02MPa，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全； · 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开出气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等） · 我们不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体，如果客户工艺原因确实需要使用易燃易爆和有毒气体，请客户自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体而造成的相关问题，本公司概不负责。 |
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