供气系统CGM-2F
关键字：
两通道、惰性气体
型号：
CGM-2F
产品概述：
CGM-2F是一款小型的两通道混气系统，用于惰性气体的控制，可用于小型管式炉、手套箱、等离子清洗机、小型PECVD系统等
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
设备名称型号

供气系统 CGM-2F
产品特点

· 适用于低压小流量，多种气体单一/混合连续供气系统。尤其方便多种气体的切换使用，而不会造成大气进入加热管。

· 气体压力和流量数据在同一平面直观可读，外形美观、实用，操作简便。

· 显示流量准确，可有效控制气体的消耗量

· 重量轻，方便移动

· 使用方便，无需通电
基本参数

· 浮子流量计量程：16-160ml/min

· 压力表量程：-0.1-0.15MPa

· 通气管道：φ6.35mm的聚四氟管
混气罐

· 内置一个不锈钢混气罐，可更好的混合气体

· 混气罐尺寸：直径64*长120mm 
气口与阀门

· 背面的进气与出气口均为φ6.35的卡套接头，进气口通过四氟管连接气瓶，出气口通过四氟管连接到设备的进气口

· 前面板的三个不锈钢针阀控制气体的进出
设备外形尺寸

340mm（L）*300mm（W）*180mm（H）

图片1.png
重量

约6KG
质保

一年保修，终身技术支持

· 因人为损坏或操作不当造成的损坏不在保修范围内

· 因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内
注意事项

· 气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全，开启减压阀时应注意其工作压力使其PMAX<0.01MP，以免压力过大造成气路损坏

· 本设备不建议，不提倡使用，易燃易爆、有毒有害气体。如果不采纳我公司的建议，在使用过程中，出现人生安全及设备的损坏，本公司该不负责。
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