| 设备名称 | 1700℃小型精确控温蒸发镀膜仪--GSL-1700X-SPC-2 （2019.11.25—j9九游会实验室审核） |
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| 产品提示 | ||||
| 主要特点 | ·直径6英寸的石英腔体，便于清洁和放入样品。 ·安装有一个2英寸的样品台，并且样品台可以旋转，使所制薄膜更加均匀。 ·样品台和蒸发源之间的距离可以调节 ·气体流量端口和阀门内置可用于腔室净化和CVD实验。 ·采用钨丝加热
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| 基本参数 | ·控温方式：手动控温/程序控温 ·控温精度：+/-1℃ ·腔体真空度：5*10^-3Pa（表压只能显示到 1*10^-1Pa） ·样品室：石英腔体：167mm OD. x 152mm ID x 260mm H ·基片：可装载基片最大尺寸为 50mm ·输出电压：DC 18V ·最大输出电流：≤30A 正常蒸发电流：≤25A ·输入电源：AC 220V 50HZ/60HZ ·输入功率：600W（不包含真空系统） ·最高使用温度：≤1500℃ 更多参数请联系j9九游会销售部 |
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| 温控及加热源 | ·采用钨丝篮作为发热源，并且配有专用的氧化铝坩埚，热电偶安装在坩埚底部，以便于温度测量和控制。（图1） ·采用S型热电偶（工作温度为200℃-1500℃）（图2） ·可选B型热电偶（工作温度为1200℃-1700℃） ·安装有一个数显的温度控制器：可设置30段升降温程序，控温精度为+/- 1ºC（图3） ·温度控制器的时间设置以秒为单位，建议将升温/降温速率限制在1200ºC以下0.3ºC/s（20ºC/ min），在1200 - 1500ºC限制到0.15ºC/s（10ºC/min） ·仪器中配有钨丝篮及氧化铝坩埚（图4、图5）
图1 图2 图3 图4 图5 |
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| 进气口 | ·进气接口为1/4NPS，可向真空腔体中通入惰性气体，对腔体进行清洗，也可通入反应气体，进行反应蒸发镀膜 ·进气口安装有一针阀，用于调节进气流量 |
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| 皮拉尼真空计 | · 安装位置：室内或空旷的露天楼宇及工作室； · 温度：5-60℃； · 湿度：30℃环境下≤80% 40℃环境下≤50%无冷凝气体； · 环境大气压：860-1060mbar。 |
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| 真空泵（选配) | · 型号：VRD-8 · 电源 AC 220V 50/60 Hz · 功率：400W · 进排气连接口：KF25 · 抽气速率：8 m³/h
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| 尺寸 | 540*400*710mm（长*宽*高）
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| 重量 | 40 kg |
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| 认证 | ·此产品已通过CE认证 证书编号：M.2021.206.C67994 ·若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证
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| 质保 | 一年质保期，终生维护 特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 |
使用GSL-1700X-SPC-2设备在Si片上蒸镀Cu，探索设备蒸镀膜厚最大及最小值。
实验过程：
图1设备 图2蒸发料
原料：铜段（蒸发料，铜导线内芯），Si基底（酒精超声清洗30min，后使用去离子水超声清洗30min，真空烘箱70℃烘干）。使用分子泵抽真空，待真空度到达100时，利用氮气对腔室进行洗气三至四次。洗气结束，待分子泵抽真空至10-4Torr，开始给炉子加热，升温曲线0.6℃/s，升温至相应温度，玻璃罩出现金属色后打开挡板蒸镀。
实验结果如下：
目的 | 组别 | 蒸镀条件 （温度、时间） | 镀膜前 | 镀膜后 | 膜厚 |
最薄 | 1 | 1250℃、10s |
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2 | 1200℃、10s |
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3 | 1200℃、3s |
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最厚 | 4 | 1200℃、60min |
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5 | 1200℃、30min |
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结论：
1、GSL-1700X-SPC-2设备在Si基底上镀Cu，最薄（膜厚仪可检测）可蒸镀至14.8nm
2、GSL-1700X-SPC-2设备在Si基底上镀Cu，最厚（起皮前）可蒸镀至37.72μm
特别声明：
1. 以上所有实验仅为初步探究，仅供参考。由于我们水平有限，错误疏漏之处欢迎指出，我们非常期待您的建议。
2. 欢迎您提出其他实验思路，我们来验证。
3. 以上实验案例及数据只针对j9九游会设备，不具有普遍性。
4. 因为涉及保密问题，以上数据仅为部分数据，欢迎老师与我们联系，我们非常期待和您共同探讨设备的应用技术。
应用提示 | ·使用前要检查密封圈和法兰上是否有异物或划痕，并用酒精擦洗。 ·抽真空时，用外部加热装置将腔体烘烤到200℃，氧化铝坩埚预加热到500℃，保持2小时。 ·如误将控温仪表设为手动状态，程序将不能正常运行。 ·如果用户选配了STC-2型薄膜测厚仪，在选用取样片时请按：镀纯金属时用金取样片，镀合金时用银取样片。 ·钨丝蓝必须在真空状态下（＜5Pa）才能通电加热，否则会被氧化。 ·蒸镀仪标配热电偶型号为“S”型热电偶,如需加热到 1500℃以上，则需更换“B”型热电偶。 ·当所需要蒸镀的物料会与氧化铝坩埚产生反应，则需将氧化铝坩埚换成氧化铝通孔坩埚。然后在通孔坩埚上再放上一个不锈钢异形坩埚（注意：加热不锈钢坩埚时，温度不能超过1100℃）。用户可额外选购钨丝篮及氧化铝坩埚。（图1、2） 图1 图2 |
警示 | ·蒸镀仪在工作中严禁旋开试样室充气阀充气、关闭真空泵。 ·蒸镀电流不宜大于 20A。 ·蒸镀仪一般工作温度不得超过 1500℃（长时间工作温度），最高温度 1600℃ （工作时间不超过 30 分钟）。 ·此设备仪表程序时间为秒，200℃之前升温速度不宜大于 0.5 度/秒。 |
相关可选 | ·可选用真空系统配套使用：分子泵真空度可达 10E-4 torr。(图1) ·如果使用腐蚀性气体，请使用冷阱或防腐干泵。(图2) ·可选购一数显防腐真空计，测量范围为：3.8x10^-5-1125Torr。(图3) ·可在本公司选购精密的石英振动薄膜测厚仪安装在溅射仪上，可实时监测薄膜的厚度，分辨率为0.10 Å。（图4、5）同时可选购反射光谱薄膜测厚仪--TFMS-LD（图6） ·此款蒸镀仪可以放入到手套箱里操作，用于蒸镀一些在常温下对氧气敏感的材料，比如金属Li等，可在本公司选购开启式手套箱VGB-6。（图7） 图1 图2 图3 图4
图5 图6 图7 |
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