· HPCVD（Hybrid Physical & Chemical Vapor Deposition ）是一种结合了多种热技术（CVD，热蒸发，等离子增强等）

   专门针对复杂薄膜制备的实验系统。以下是客户定制过的设备方案，如果您有更好的定制想法或者改进建议，欢迎和我们联系！

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